石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性，正逐步成为微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性，近年来备受关注。

考虑到PETN等固态爆炸物会产生特定的蒸气，因此可以利用气体传感器技术检测爆炸物。MEMS气体传感器是结合MEMS技术和气体传感器技术，将现实世界气体信息转换为电信号的微型器件，具有操作简单、成本低、尺寸小、灵敏度高、易集成、可便携等优点 ...

今日（10月23日）下午， 第五届中国MEMS制造大会在 苏州国际博览中心正式开幕！来自全球的MEMS行业精英齐聚金鸡湖畔，共同探讨MEMS技术的最新进展和未来发展趋势。 苏州工业园区党工委委员、管委会副主任倪乾表示，作为国内MEMS产业起步最早的地区之一 ...