MCZ(磁控直拉单晶硅技术)配置超导磁体。磁控直拉单晶硅技术(MagneticApplied Czochralski Method),简称MCZ,是目前国际上生产300mm 以上大尺寸半导体级单晶硅的最主要方法。MCZ 法制备硅单晶的原理与CZ 法基本相同,只是在生产过程中对硅熔液施加了一个横向的电磁场 ...